- Belichtungsenergie
- сущ.
микроэл. экспозиция (минимальная энергия на единицу площади фотослоя, необходимая для его проработки на полную глубину)
Универсальный немецко-русский словарь. Академик.ру. 2011.
Belichtungsenergie
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Schrägbeleuchtung — (englisch off axis illumination) – seltener Schrägbelichtung oder außeraxiale Belichtung genannt – bezeichnet in der Halbleitertechnik ein fortgeschrittenes Belichtungsverfahren bei der fotolithografischen Strukturierung. Es bietet die… … Deutsch Wikipedia
